电镜能谱一体机

产品时间:2017-12-20

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  • Phenom ProX是第五代电镜能谱一体机,是*的集成化成像分析系统,分辨率提升 20%,进一步增加应用范围,更加适用于对电子束敏感的样品。借助该系统,既可观察样品的表面形貌,又可分析其元素组分。研究样品时,得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器,飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳 Phenom ProX 系统中。Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析,检测样品的元素组分。此外,该软件还可以扩展到元素分析线面扫(mapping)功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

     Phenom ProPhenom ProXPhenom XL
    光学放大20 - 135 X20 - 135 X3 - 16 X
    电子光学放大80 - 150,000 X80 - 150,000 X80 - 100,000 X
    分辨率优于 8 nm优于 8 nm优于 14 nm
    数字放大Max. 12 XMax. 12 XMax. 12 X
    光学导航相机彩色彩色彩色
    加速电压5 Kv - 15 Kv  连续可调5 Kv - 15 Kv  连续可调5 Kv - 20 Kv  连续可调
    真空模式高分辨率模式高分辨率模式高分辨率模式
    降低荷电效应模式降低荷电效应模式降低荷电效应模式
      高真空模式
    探测器背散射电子探测器背散射电子探测器背散射电子探测器
    二次电子探测器 (选配)二次电子探测器 (选配)二次电子探测器 (选配)
    样品尺寸 大直径 32 mm (Ø) 大直径 32 mm (Ø) 大 100 mm X 100 mm
    可同时装载 36 个 0.5 英寸样品台
    样品高度 高 100 mm 高 100 mm 高 65 mm

     

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